VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG DER EUV-STRAHLUNG FÜR EUV-ABBILDUNGSANORDNUNGEN, INSBESONDERE MASKENINSPEKTIONSANLAGEN UND VORRICHTUNGEN HIERFÜR

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung und insbesondere Kompensation von räumlichen und/oder zeitlichen Veränderungen der Lichterzeugung einer EUV-Lichtquelle (1), wobei die EUV-Lichtquelle mindestens ein EUV-Strahlenbündel (2) erzeugt, welches als Nutzlicht der EUV-Lichtqu...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schneider, Sonja, Schömer, Ricarda, Wagner, Hendrik, Pauls, Walter, Schmidt, Holger, Hellweg, Dirk, Wabra, Norbert, Bittner, Boris, Wald, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES HOLOGRAPHY IRRADIATION DEVICES MATERIALS THEREFOR MEASURING NUCLEAR ENGINEERING NUCLEAR PHYSICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOTOTHERWISE PROVIDED FOR TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung und insbesondere Kompensation von räumlichen und/oder zeitlichen Veränderungen der Lichterzeugung einer EUV-Lichtquelle (1), wobei die EUV-Lichtquelle mindestens ein EUV-Strahlenbündel (2) erzeugt, welches als Nutzlicht der EUV-Lichtquelle und zur Überwachung derselben verwendet wird, wobei in dem zu überwachenden EUV-Strahlenbündel (2) mindestens ein EUV-Strahlteiler (11, 11', 11'', 11''') angeordnet wird, sodass durch den EUV-Strahlteiler (11, 11', 11'', 11''') EUV-Licht aus dem EUV-Strahlenbündel (2) ausgekoppelt und auf mindestens einen außerhalb des zu überwachenden EUV-Strahlenbündels (2) angeordneten EUV-Strahlungsdetektor (14) gelenkt wird, der das ausgekoppelte EUV-Licht (12) Orts- und/oder zeitaufgelöst erfasst. Außerdem betrifft die Erfindung eine optische Anordnung mit einer EUV-Lichtquelle (1), die ein EUV-Strahlenbündel (2) ausgibt, wobei die optische Anordnung eine Vorrichtung zur Überwachung und insbesondere Kompensation von räumlichen und/oder zeitlichen Veränderungen der Lichterzeugung der EUV-Lichtquelle (1) mit Hilfe des EUV-Strahlenbündels (2) umfasst. Ferner betrifft die Erfindung einen EUV-Strahlteiler (11, 11', 11'', 11''') hierfür.