Formmessvorrichtung

Formmessvorrichtung, die in der Lage ist, eine Oberflächenform eines Messobjekts mit hoher Geschwindigkeit und mit hoher Genauigkeit in einem breiten Messbereich zu messen, wobei die Formmessvorrichtung kompakt aufgebaut ist. Ein beweglicher Abschnitt 141 und ein Ausgleichsabschnitt 142 sind durch einen Tragabschnitt 125 gehalten und werden durch eine Antriebseinheit 150 in Bezug auf den Tragabschnitt 125 in entgegengesetzten Richtungen hin und her bewegt. Ein Strahlenteiler und ein Spiegel sind an dem beweglichen Abschnitt 141 befestigt. Messlicht und Bezugslicht werden jeweils zu einem Messobjekt S und dem Spiegel durch den Strahlenteiler geleitet, und das vom Messobjekt S reflektierte Messlicht und das von dem Spiegel reflektierte Bezugslicht werden zu einem Lichtempfangsabschnitt geleitet. Der bewegliche Abschnitt 141 bewegt sich hin und her, wodurch sich eine Differenz zwischen einer optischen Weglänge des Messlichts und einer optischen Weglänge des Bezugslichts ändert. Oberflächenformen einer Vielzahl von Abschnitten des Messobjekts S werden auf der Basis von relativen Positionen des beweglichen Abschnitts 141 in Bezug auf den Tragabschnitt 125 und Lichtempfangsmengen einer Vielzahl von Pixeln des Lichtempfangsabschnitts aufgenommen. To provide a shape measuring device capable of measuring a surface shape of a measuring object at high speed and with high accuracy in a wide measurement range while configuring the shape measuring device compact. A movable section 141 and a balancing section 142 are supported by a supporting section 125 and reciprocatingly moved by a driving unit 150 with respect to the supporting section 125 in opposite directions each other.