Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Substraten

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Transport von Substraten (2), insbesondere zur Herstellung von Solarzellen, wobei in einem ersten Transportschritt (TS1) ein erster Carrier (C1) mit einer ersten Anzahl von Substraten (2) in eine Packposition (PP) transportiert wird, wobei in einem ersten Arbeitsschritt (AS1) mindestens ein erstes Substratpaket (8) in dem ersten Carrier (C1) bereitgestellt wird, wobei in einem zweiten Transportschritt (TS2) der erste Carrier (C1) in eine Transferposition (TP) bewegt wird, wobei in einem zweiten Arbeitsschritt das mindestens erste Substratpaket (8) von dem ersten Carrier (C1) in ein erstes Prozessboot (B1) und mindestens ein weiteres Substratpaket (8) von einem Prozessboot (B1, B2) in den ersten Carrier (C1) transportiert wird, wobei in einem dritten Transportschritt (TS3) der erste Carrier (C1) in eine Entpackposition (EP) transportiert wird, wobei in einem dritten Arbeitsschritt (AS3) das mindestens ein weiteres Substratpaket (8) entpackt wird. The invention relates to a method and to a device for transporting substrates (2), in particular for producing solar cells, wherein in a first transport step (TS1) a first carrier (C1) having a first number of substrates (2) is transported into a packing position (PP), in a first work step (AS1) at least one first substrate pack (8) is provided in the first carrier (C1), in a second transport step (TS2) the first carrier (C1) is moved into a transfer position (TP), in a second work step the at least first substrate pack (8) is transported from the first carrier (C1) into a first process boat (B1) and at least one further substrate pack (8) is transported from a process boat (B1, B2) into the first carrier (C1), in a third transport step (TS3) the first carrier (C1) is transported into an unpacking position (EP), and in a third work step (AS3) the at least one further substrate pack (8) is unpacked.