Polykristallines Material mit geringer mechanischer Verspannung; Verfahren zum Erzeugen eines polykristallinen Materials

Vorgeschlagen wird ein Polykristallines Material (5) mit geringer mechanischer Verspannung, wobei das polykristalline Material (5) eine oder mehrere Schichten eines ersten Typs (1) und eine oder mehrere Schichten eines zweiten Typs (2) umfasst, wobei die Schichten des ersten Typs (1) und die Schicht...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Hartlieb, Andreas, Butz, Juergen, Beintner, Jochen, Stahl, Heiko
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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