Polykristallines Material mit geringer mechanischer Verspannung; Verfahren zum Erzeugen eines polykristallinen Materials

Vorgeschlagen wird ein Polykristallines Material (5) mit geringer mechanischer Verspannung, wobei das polykristalline Material (5) eine oder mehrere Schichten eines ersten Typs (1) und eine oder mehrere Schichten eines zweiten Typs (2) umfasst, wobei die Schichten des ersten Typs (1) und die Schicht...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hartlieb, Andreas, Butz, Juergen, Beintner, Jochen, Stahl, Heiko
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Vorgeschlagen wird ein Polykristallines Material (5) mit geringer mechanischer Verspannung, wobei das polykristalline Material (5) eine oder mehrere Schichten eines ersten Typs (1) und eine oder mehrere Schichten eines zweiten Typs (2) umfasst, wobei die Schichten des ersten Typs (1) und die Schichten des zweiten Typs (2) jeweils mindestens eine polykristalline Materialkomponente aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die Schichten des ersten Typs (1) eine kleinere durchschnittliche Kristallkorngröße aufweisen als die Schichten des zweiten Typs (2), wobei in abwechselnder Abfolge eine Schicht des ersten Typs (1) und eine Schicht des zweiten Typs (2) zumindest teilweise übereinander angeordnet sind und wobei der Übergang zwischen den Schichten des ersten Typs (1) und den Schichten des zweiten Typs (2) abrupt oder kontinuierlich sein kann. A polycrystalline material having low mechanical strain is provided. The polycrystalline material includes one or multiple layers of a first type and one or multiple layers of a second type. The layers of the first type and the layers of the second type each include at least one polycrystalline material component. The layers of the first type have a smaller average crystal grain size than the layers of the second type, a layer of the first type and a layer of the second type being situated, at least in part, one above the other in an alternating sequence, and it being the case for the transition between the layers of the first type and the layers of the second type to be abrupt or continuous.