Mikromechanischer Drucksensor

Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend: - einen Drucksensorkern (10) mit einer Sensormembran (14) und einer oberhalb der Sensormembran (14) ausgebildeten Kavität (11); und - einen Drucksensorrahmen (20); wobei - ein Federelement (15) zur mechanischen Anbindung des Drucksensorkerns (10) an d...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Schwarz, Mike, Senz, Volkmar, Lukacs, Ferenc, Dannenberg, Arne, Grutzeck, Helmut, Maul, Robert, Heuck, Friedjof, Friedrich, Thomas, Dögei, Tamás
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend: - einen Drucksensorkern (10) mit einer Sensormembran (14) und einer oberhalb der Sensormembran (14) ausgebildeten Kavität (11); und - einen Drucksensorrahmen (20); wobei - ein Federelement (15) zur mechanischen Anbindung des Drucksensorkerns (10) an den Drucksensorrahmen (20) derart ausgebildet ist, dass eine mechanische Robustheit maximiert ist und eine Stresseinkopplung vom Drucksensorrahmen (20) auf den Drucksensorkern (10) minimiert ist. A micromechanical pressure sensor, having -a pressure sensor core including a sensor diaphragm and a cavity developed above the sensor diaphragm; and -a pressure sensor frame; and -a spring element for the mechanical connection of the pressure sensor core to the pressure sensor frame being developed in such a way that a mechanical robustness is maximized and a coupling of stress from the pressure sensor frame into the sensor pressure core is minimized.