Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils und Wafer-Anordnung

Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils und Wafer-Anordnung

Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils sowie eine Waferanordnung. Das Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines ersten Wafers mit einer Mehrzahl von mikroelektromechanischen Grundelementen (110a); Ausbilden einer jeweiligen Behälterstrukt...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Schellkes, Eckart, Rajaraman, Vijaye
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TRANSPORTING
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creator Schellkes, Eckart
Rajaraman, Vijaye
description Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils sowie eine Waferanordnung. Das Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines ersten Wafers mit einer Mehrzahl von mikroelektromechanischen Grundelementen (110a); Ausbilden einer jeweiligen Behälterstruktur (112a) auf oder an den mikroelektromechanischen Grundelementen (110a) auf Waferlevel; und Anordnen eines Öls (40) oder eines Gels innerhalb der Behälterstrukturen (112a). A method for producing a microelectromechanical component as well as a wafer system includes steps of: providing a first wafer having a plurality of microelectromechanical base elements; forming a respective container structure on the microelectromechanical base elements at the wafer level; and disposing an oil or a gel within the container structures.
format Patent
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Das Verfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines ersten Wafers mit einer Mehrzahl von mikroelektromechanischen Grundelementen (110a); Ausbilden einer jeweiligen Behälterstruktur (112a) auf oder an den mikroelektromechanischen Grundelementen (110a) auf Waferlevel; und Anordnen eines Öls (40) oder eines Gels innerhalb der Behälterstrukturen (112a). A method for producing a microelectromechanical component as well as a wafer system includes steps of: providing a first wafer having a plurality of microelectromechanical base elements; forming a respective container structure on the microelectromechanical base elements at the wafer level; and disposing an oil or a gel within the container structures.</description><language>ger</language><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2018</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20180712&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102017200162A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,777,882,25545,76296</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20180712&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102017200162A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Schellkes, Eckart</creatorcontrib><creatorcontrib>Rajaraman, Vijaye</creatorcontrib><title>Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils und Wafer-Anordnung</title><description>Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen eines mikroelektromechanischen Bauteils sowie eine Waferanordnung. 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