Schutzmaßnahmen für MEMS-Schaltervorrichtungen

Elektronische Schaltung (100) mit einer mikroelektromechanischen Schaltervorrichtung (150) und einer Festkörper-Begrenzungsschaltung (160), wobei die elektronische Schaltung (100) ausgebildet ist zum Empfangen eines Logikpegel-Signals und zum Bereitstellen eines Steuersignals zum elektrostatischen Betätigen des mikroelektromechanischen Schalters (150) als Reaktion auf das empfangene Logikpegel-Signal, wobei die elektronische Schaltung (100) Folgendes aufweist:ein Integrierte-Schaltung-Vorrichtungspackage (500A), aufweisend:ein erstes Substrat (342);eine integrierte mikroelektromechanische Schaltervorrichtung (150), die sich auf dem oder innerhalb von dem ersten Substrat (342) befindet;eine Einhausung (367), die einen Bereich definiert zum Isolieren der integrierten mikroelektromechanischen Schaltervorrichtung (150) gegenüber einer umgebenden Umwelt; undeine elektrisch mit der mikroelektromechanischen Schaltervorrichtung (150) gekoppelte Festkörper-Begrenzungsschaltung (160), wobei die Festkörper-Begrenzungsschaltung (160) eine integrierte Schaltung mit integrierten Diodenvorrichtungen (982, 984) aufweist, die komplementäre Kapazität-Spannung-Beziehungen und komplementäre Vorrichtungsarchitekturen aufweisen und in komplementären Zweigen zwischen einem Eingangsknoten und einem Referenzknoten der Festkörper-Begrenzungsschaltung (160) angeordnet sind, um Schutz vor positiv ziehenden oder negativ ziehenden Spannungsüberschwingern bezüglich des Referenzknotens vorzusehen, wobei die ersten Diodenvorrichtungen (982) in einer Reihenschaltung in einem ersten Zweig angeordnet sind und eine erste Kapazität-Spannung-Beziehung bereitstellen und die zweiten Diodenvorrichtungen (984) in einer Reihenschaltung in einem zweiten Zweig angeordnet sind und eine zweite Kapazität-Spannung-Beziehung bereitstellen, die im Wesentlichen komplementär zu der ersten Kapazität-Spannung-Beziehung ist, wobei die integrierten Diodenvorrichtungen (982, 984) angeordnet sind zum Bereitstellen einer linearen oder ungefähr linearen Gesamt-Kapazität-Spannung-Beziehung für die Begrenzungsschaltung (160), und wobei die Festkörper-Begrenzungsschaltung (160) dafür ausgebildet ist, Beschädigung am mikroelektromechanischen Schalter (150) aufgrund einer Transientenüberspanungsbedingung zu unterdrücken oder zu hemmen. Micro-electromechanical switch (MEMS) devices can be fabricated using integrated circuit fabrication techniques and materials. Such switch devices can provide cycle life and insertion loss