Laserbearbeitungs-Robotersystem und Laserbearbeitungsverfahren

Robotersystem (10), das- einen Roboter (14), der mit einem beweglichen Abschnitt (22) versehen ist, und- eine Laserbestrahlungsvorrichtung (12), die an dem beweglichen Abschnitt (22) des Roboters (14) ausgebildet ist und- einen Laserbestrahlungspositionsveränderungsmechanismus (28) aufweist, der die Laserbestrahlungsposition in wenigstens einer Richtung verändern kann,umfasst und durch Bestrahlen einer bestimmten Position eines Objekts (20) mit einem Laserstrahl eine Laserbearbeitung vornimmt,wobei das Robotersystem (10)eine Robotererstbewegungsvornahmeeinheit (16), die eine erste Roboterbewegung vornimmt, welche die Laserbestrahlungsvorrichtung (12) an eine bestimmte Befehlsposition bewegt;eine Laserbestrahlungsvorrichtungspositionsmesseinheit (40), die eine tatsächliche Position der Laserbestrahlungsvorrichtung (12) bei der ersten Roboterbewegung in einem dreidimensionalen Raum misst;eine Abweichungsspeichereinheit (16, 36), die eine Abweichung zwischen der tatsächlichen Position der Laserbestrahlungsvorrichtung (12) in dem dreidimensionalen Raum, die bei der ersten Roboterbewegung durch die Laserbestrahlungsvorrichtungspositionsmesseinheit (40) gemessen wurde, und der Befehlsposition ermittelt und die Abweichung als zeitreihenbezogene Abweichungsdaten speichert;eine Laserbestrahlungspositionskorrektureinheit (36), die auf Basis der in der Abweichungsspeichereinheit (16, 36) gespeicherten Abweichungsdaten die Laserbestrahlungsposition so korrigiert, dass sie mit einer gewünschten Position übereinstimmt; undeine Roboterzweitbewegungsvornahmeeinheit (16), die eine zweite Roboterbewegung vornimmt, bei der die gleiche Roboterbewegung wie die obige erste Roboterbewegung erfolgt, während der Laserstrahl ausgesendet wird und eine Korrektur der Laserbestrahlungsposition durch die Laserbestrahlungspositionskorrektureinheit (36) mittels Steuerung des Laserbestrahlungspositionsveränderungsmechanismus (28) erfolgt, umfasst. A laser processing robot system and a laser processing method, by which the motion accuracy of a robot in the system can be improved and laser processing with high accuracy can be carried out. The robot system is configured to: execute a first robot motion for moving an laser irradiation device to a predetermined command position; measure an actual three-dimensional position of the irradiation device in the first robot motion; calculate a deviation between the command position and the measured actual three-dimensional position of the irradiation