Filtereinrichtung, Filtervorrichtung und Verfahren zum Filtern Restpartikeln

Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zum Filtern von bei Bearbeitung anfallenden Restpartikeln für eine optische Reinheitsprüfung zum Nachweis einer Technischen Sauberkeit, bei dem ein bearbeitetes Bauteil mit einer Spülflüssigkeit gespült wird und die Spülflüssigkeit mit...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tschan, Alexander, Elser, Maximilian, Renz, Samuel, Gläser, Frank
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS SEPARATION TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zum Filtern von bei Bearbeitung anfallenden Restpartikeln für eine optische Reinheitsprüfung zum Nachweis einer Technischen Sauberkeit, bei dem ein bearbeitetes Bauteil mit einer Spülflüssigkeit gespült wird und die Spülflüssigkeit mit vorhandenen Restpartikeln eine Filtereinrichtung 100) mit mindestens einer (Membran-)Filtereinheit (140, 141) zugeführt wird, wobei die (Membran-)Filtereinheit (140, 141) die Restpartikel filtert und die Spülflüssigkeit durchlässt, wobei die Restpartikel über die (Membran-)Filtereinheit (140, 141) verteilt, insbesondere gleichmäßig verteilt, abgelagert werden, sodass eine Auswertung der auf der (Membran-)Filtereinheit (140, 141) verbliebenen Restpartikel verbessert ist. Weiter betrifft der Gegenstand der Erfindung eine Filtereinrichtung (110) und eine Filtervorrichtung (100) hierzu.