Prozesssteuerschaltung und Verfahren zum Steuern einer Bearbeitungsanordnung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Verarbeitungschaltung (108) Folgendes enthalten: eine Datenerfassungsschaltung (102), die konfiguriert ist, Prozessdaten und Messdaten einer Bearbeitungsanordnung (104) zu erfassen, wobei die Prozessdaten mehrere Prozessereignisdaten gemäß mehreren Prozessereignissen enthalten und die Messdaten mehrere Messereignisdaten gemäß mehreren Messereignissen enthalten; eine Datenverschmelzungsschaltung (108), die konfiguriert ist, Zustandsinformationen, wobei die Zustandsinformationen einen Status der Bearbeitungsanordnung (104) repräsentieren, und Genauigkeitsinformationen, die eine Genauigkeit der Zustandsinformationen repräsentieren, bereitzustellen; wobei die Datenverschmelzungsschaltung (108) ferner konfiguriert ist, basierend auf den erfassten Prozessereignisdaten die Zustandsinformationen zu aktualisieren, wodurch die Genauigkeit der Zustandsinformationen verringert wird, und unabhängig vom Aktualisieren der Zustandsinformationen basierend auf den erfassten Messereignisdaten den früheren Zustand der Zustandsinformationen wiederherzustellen, wodurch die Genauigkeit der Zustandsinformationen vergrößert wird, und eine Steuerschaltung (110), die konfiguriert ist, die Bearbeitungsanordnung (104) basierend auf den Zustandsinformationen und/oder basierend auf den Genauigkeitsinformationen zu steuern. According to an embodiment, a processing circuit includes: a data acquisition circuit configured to acquire process data and measurement data of a processing arrangement, the process data including a plurality of process event data in accordance with a plurality of process events and the measurement data including a plurality of measurement event data in accordance with a plurality of measurement events; a data merging circuit configured to provide state information, the state information representing a status of the processing arrangement, and accuracy information representing an accuracy of the state information; wherein the data merging circuit is further configured to update the state information based on the acquired process event data, wherein the accuracy of the state information is decreased, and, independently from updating the state information, to downdate the state information based on the acquired measurement event data, wherein the accuracy of the state information is increased.