Rasterelektronenmikroskop und Verfahren zu dessen Verwendung

Das erfindungsgemäße Rasterelektronenmikroskop umfasst drei Objektivlinsen - je eine distale (4) und proximale (6) Objektivlinse, die als konventionelle Linsen ausgeführt sind, sowie eine Immersions-Objektivlinse (8), die unterhalb der letzteren angeordnet ist. Die Aktivität dieser drei Objektivlinsen kann unabhängig voneinander gesteuert werden, wodurch unterschiedliche Kombinationen von aktiven Objektivlinsen erhalten werden können. Das Rasterelektronenmikroskop bietet somit unterschiedliche Anwendungsmöglichkeiten. Die einzelnen Betriebsarten sind umschaltbar und man kann daher die am besten geeignete Art für die jeweilige Anwendung auswählen. A scanning electron microscope comprises three objective lenses, including a distant objective lens and a close objective lens, which are of conventional type, and an immersion objective lens of the immersion type below the distant objective lens and the close objective lens. These three objective lenses can be controlled independently, therefor different combinations of active objective lenses can be achieved. The scanning electron microscope therefore offers various imaging modes. There is a possibility to switch between these imaging modes and therefore, choose the most suitable way of imaging for given application.