Akustisches Oberflächenwellen (SAW) Verbund-Gerät mit absorbierender Schicht zur Unterdrückung von störenden Antworten

Ein akustisches Oberflächenwellen (SAW) Gerät (600, 900, 1000), umfassend:ein Basissubstrat (510, 910);eine Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930);mindestens ein Paar an ineinander greifenden Elektroden (542, 544, 942, 944, 1042, 1044), das auf der Schicht aus piezoelektrischem Material (...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: Gilbert, Stephen Roy, Ruby, Richard C, Sridaran, Suresh, Burak, Dariusz
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ein akustisches Oberflächenwellen (SAW) Gerät (600, 900, 1000), umfassend:ein Basissubstrat (510, 910);eine Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930);mindestens ein Paar an ineinander greifenden Elektroden (542, 544, 942, 944, 1042, 1044), das auf der Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930) angeordnet ist; undeine Schicht zur Unterdrückung von akustischen Wellen (620, 920), die zwischen der Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930) und dem Basissubstrat (510, 910) angeordnet ist, wobei die Schicht zur Unterdrückung von akustischen Wellen (620, 920) eine Schicht aus dotiertem piezoelektrischen Material (625) ist, das mit einem Fremdstoff dotiert ist, der eine viskose Dämpfung für die akustische Welle bewirkt, die sich in einer Richtung von der Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930) zu dem Basissubstrat (510, 910) hin ausbreitet, wobei die Schicht zur Unterdrückung von akustischen Wellen (620, 920) konfiguriert ist zum Unterdrücken einer akustischen Welle, die sich in einer Richtung von der Schicht aus piezoelektrischem Material (530, 930) zu dem Basissubstrat (510, 910) hin ausbreitet. A surface acoustic wave (SAW) device includes: a base substrate; a piezo-electric material layer; at least one interdigitated electrode pair disposed on the piezo-electric material layer; and an acoustic wave suppression layer disposed between the piezo-electric material layer and the base substrate, the acoustic wave suppression layer being configured to suppress an acoustic wave propagating in a direction from the piezo-electric material layer to the base substrate.