Verfahren zur Herstellung eines Auskoppelelements für ein optoelektronisches Bauelement und optoelektronisches Bauelement

Verfahren zur Herstellung eines Auskoppelelements (2) für ein optoelektronisches Bauelement (100) aufweisend die folgenden Verfahrensschritte:A) Bereitstellen eines anorganischen dielektrischen Elements (3) mit einer Oberfläche (4) in eine Kammer (10), wobei das dielektrische Element im Betrieb in der Kammer rotiert (5), undB) Bereitstellen eines Strukturierungsmittels (6) umfassend Wasser (7) und Ozon (8) und Einbringen des Strukturierungsmittels (6) in die Kammer (10), so dass das Strukturierungsmittel (6) die Oberfläche (4) des anorganischen dielektrischen Elements (3) berührt und eine Aufrauung (9) in der Oberfläche (4) erzeugt wird, wobei das anorganische dielektrische Element (3) Aluminiumoxid aufweist. A method for producing an output coupling element and an optoelectronic component are disclosed. In an embodiment, a method includes providing an inorganic dielectric element with a surface in a chamber, wherein the inorganic dielectric element is rotatable in the chamber, providing a structuring agent comprising water and ozone and introducing the structuring agent into the chamber so that the structuring agent contacts the surface of the inorganic dielectric element thereby producing a roughening in the surface.