Translatorisch wirkendes Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung

Translatorisch wirkendes Werkzeugmodul zur Feinbearbeitung, umfassenda) mindestens ein einen Anpresshub aufweisendes Feinbearbeitungselement (12, 34, 48, 54),b) mindestens ein Anpresskraftsystem zur Beeinflussung einer Anpresskraft des mindestens einen Feinbearbeitungselements (12, 34, 48, 54) auf eine zu bearbeitende Werkstückoberfläche, wobei das Anpresskraftsystem elektrisch betrieben ist oder ein Fluiddrucksystem mit einem Fluidleitungssystem für ein Fluid umfasst, undc) Antriebsmittel zum Antrieb des mindestens einen Feinbearbeitungselements (12, 34, 48, 54),wobeid) das mindestens eine Feinbearbeitungselement (12, 34, 48, 54) an mindestens einer mittels der Antriebsmittel angetriebenen und linear geführten Translationseinheit (19, 43, 61, 81, 91, 92), angeordnet ist,gekennzeichnet durche) mindestens eine in der Translationseinheit (19, 43, 61, 81, 91, 92) oder in mindestens einer der Translationseinheiten (19, 43, 61, 81, 91, 92) angeordnete, zur Übertragung einer Kraft auf das Feinbearbeitungselement (12, 34, 48, 54) oder auf mindestens eines der Feinbearbeitungselemente (12, 34, 48, 54) dienende Übertragungseinrichtung, wobei die Übertragungseinrichtung- eine ein Kolben-Zylindersystem umfassende und mit Fluiddruck des Fluiddrucksystems betriebene Druckübertragungseinrichtungoder- eine Kraftübertragungseinrichtung des elektrisch betriebenen Anpresssystems ist.