Verfahren und Vakuumanordnung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (600) aufweisen: Abpumpen eines Hauptrezipienten (102) mittels einer Vakuumpumpe (106); Abpumpen eines Nebenrezipienten (104) mittels der Vakuumpumpe (106); Transportieren eines Substrats entlang eines Transportpfads, welcher in dem Hauptrezip...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Häusler, Christoph
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (600) aufweisen: Abpumpen eines Hauptrezipienten (102) mittels einer Vakuumpumpe (106); Abpumpen eines Nebenrezipienten (104) mittels der Vakuumpumpe (106); Transportieren eines Substrats entlang eines Transportpfads, welcher in dem Hauptrezipient (102) und neben dem Nebenrezipient (104) angeordnet ist; und Steuern und/oder Regeln eines Gasflusses aus dem Nebenrezipient (104) zu der Vakuumpumpe (106), wenn der Hauptrezipient (102) und der Nebenrezipient (104) gleichzeitig mittels der Vakuumpumpe (106) abgepumpt werden.