Prozessofen mit Ofenmodulen

Bei Anlagen für die Halbleiterherstellung kann ein längerer Produktionsausfall vermieden werden, wenn ein Prozessmodul für einen Chargen- oder Batch-Ofen vorgesehen wird, wobei das Prozessmodul eine Prozesskammer und eine Heizkassette, welche die Prozesskammer umgibt, und einen Prozessmodulträger au...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Walk, Uli, Völk, Peter
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BLASTING FURNACES FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL HEATING KILNS LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS OVENS RETORTS WEAPONS
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