Prozessofen mit Ofenmodulen

Bei Anlagen für die Halbleiterherstellung kann ein längerer Produktionsausfall vermieden werden, wenn ein Prozessmodul für einen Chargen- oder Batch-Ofen vorgesehen wird, wobei das Prozessmodul eine Prozesskammer und eine Heizkassette, welche die Prozesskammer umgibt, und einen Prozessmodulträger aufweist, in dem das Prozessmodul aufgenommen ist. Wenigstens die Prozesskammer und die Heizkassette können als eine Baugruppe gemeinsam aus dem Prozessmodulträger entnommen werden. So kann eine defekte Heizkassette und/oder Prozesskammer in kurzer Zeit und trotz heißer Temperatur ausgetauscht werden. Weiter wird ein Verfahren zum Betrieb einer Prozesseinheit mit einer Vielzahl von Prozesskammern und einer zentralen Versorgungseinheit beschrieben, welches folgende Schritte aufweist: a) Aufheizen der Prozesskammern und Ausführen einer Wärmebehandlung in den Prozesskammern; b) Trennen einer Baugruppe, die wenigstens die Prozesskammer und das Heizmodul aufweist, von der Prozesseinheit; und c) Entnehmen der Baugruppe aus der Prozesseinheit durch Bewegen der Baugruppe auf einer horizontalen Ebene relativ zur Prozesseinheit.