Mikromechanischer z-Beschleunigungssensor

Mikromechanischer z-Beschleunigungssensor

Mikromechanischer z-Beschleunigungssensor (100), aufweisend:ein seismisches Massenelement (10) mit einer Torsionsfeder (20); wobeidie Torsionsfeder (20) ein Ankerelement (21) aufweist, mit dem die Torsionsfeder (20) an ein Substrat angebunden ist; wobei A micromechanical z-acceleration sensor, inclu...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hoehr, Timm, Linck-Lescanne, Markus, Guenther, Sebastian, Puygranier, Antoine, Ullrich, Guenther-Nino-Carlo, Gugel, Denis
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
MEASURING
MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TESTING
TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:Mikromechanischer z-Beschleunigungssensor (100), aufweisend:ein seismisches Massenelement (10) mit einer Torsionsfeder (20); wobeidie Torsionsfeder (20) ein Ankerelement (21) aufweist, mit dem die Torsionsfeder (20) an ein Substrat angebunden ist; wobei A micromechanical z-acceleration sensor, including a seismic mass element including a torsion spring; the torsion spring including an anchor element, with the aid of which the torsion spring is connected to a substrate; the torsion spring being connected at both ends to the seismic mass element with the aid of a bar-shaped connecting element designed as normal with respect to the torsion spring in the plane of the seismic mass element.