Mikromechanischer Sensor

Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat (10); - eine auf dem Substrat (10) angeordnete erste Funktionsschicht (20); - eine auf der ersten Funktionsschicht (20) angeordnete zweite Funktionsschicht (30) mit beweglichen mikromechanischen Strukturen (31); - eine im Substrat (10) unter...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Beintner, Jochen, Schelling, Christoph
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NAVIGATION PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SURVEYING TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Mikromechanischer Sensor (100), aufweisend: - ein Substrat (10); - eine auf dem Substrat (10) angeordnete erste Funktionsschicht (20); - eine auf der ersten Funktionsschicht (20) angeordnete zweite Funktionsschicht (30) mit beweglichen mikromechanischen Strukturen (31); - eine im Substrat (10) unterhalb der beweglichen mikromechanischen Strukturen (31) angeordnete Kavität (11); und - eine um die beweglichen mikromechanischen Strukturen (31) der zweiten Funktionsschicht (30) umlaufend ausgebildete und sich in das Substrat (10) bis zur Kavität (11) erstreckende vertikale Grabenstruktur (40). A micromechanical sensor is described that includes: a substrate; a first functional layer that is situated on the substrate; a second functional layer that is situated on the first functional layer and that includes movable micromechanical structures; a cavity in the substrate that is situated below the movable mechanical structures; and a vertical trench structure that surrounds the movable micromechanical structures of the second functional layer and extends into the substrate down to the cavity.