Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung eines Objekts

Zur Reinigung eines Objekts (204, 206, 208, 210, 212, 214) von Kontamination mit einer kohlenstoffhaltigen Verbindung wird eine Vorrichtung (200) vorgeschlagen, die mindestens eine Zufuhreinheit (220) für sauerstoffhaltiges Gas sowie eine organische Substanz aufweist, die mindestens eine Kohlenstoff...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kaller, Julian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY CLEANING CLEANING IN GENERAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zur Reinigung eines Objekts (204, 206, 208, 210, 212, 214) von Kontamination mit einer kohlenstoffhaltigen Verbindung wird eine Vorrichtung (200) vorgeschlagen, die mindestens eine Zufuhreinheit (220) für sauerstoffhaltiges Gas sowie eine organische Substanz aufweist, die mindestens eine Kohlenstoffdoppelbindung und/oder mindestens eine Kohlenstoffdreifachbindung aufweist. Zur Reinigung des Objekts (204, 206, 208, 210, 212, 214) von Kontamination mit einer kohlenstoffhaltigen Verbindung, wird es einem Gemisch aus Ozon und einer organischen Substanz, die mindestens eine Kohlenstoffdoppelbindung und/oder mindestens eine Kohlenstoffdreifachbindung aufweist, ausgesetzt.