Trennen mit Laserstrahlung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Trennen eines Materials 1 entlang einer vorgesehenen Trennkontur 2 mittels Laserstrahlung, wobei Schädigungsstellen 3 entlang der Trennkontur 2 in das Innere des Materials 1 eingebracht werden, entlang der Trennkontur 2 eine Flüssigkeit a...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Moalem, Anas, Braun, Andreas
Format: Patent
Sprache:ger
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