Excimer-Gasreinigung
Die Offenbarung bezieht sich auf die Entfernung von Fluorwasserstoff (HF) aus einem Excimer-Laser, entweder im Betrieb oder im Standby, unter Verwendung eines Metallhalogenidsalzreaktors. HF-Entfernung ist wünschenswert, weil die Kontaminante nicht nur Laseremission absorbiert, wodurch die Laserleis...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | Die Offenbarung bezieht sich auf die Entfernung von Fluorwasserstoff (HF) aus einem Excimer-Laser, entweder im Betrieb oder im Standby, unter Verwendung eines Metallhalogenidsalzreaktors. HF-Entfernung ist wünschenswert, weil die Kontaminante nicht nur Laseremission absorbiert, wodurch die Laserleistung reduziert wird, sondern auch, weil sie chemisch reaktiv ist und die Lebenszeit von internen Laserkomponenten verringert. Der Metallhalogenidsalzreaktor kann entweder in dem Laserbehälter oder in einer externen Leitungsschleife bereitgestellt sein. |
|---|