Messkopf und Messvorrichtung zur Vermessung eines Objekts mittels interferometrischen Messverfahren

Die Erfindung betrifft einen Messkopf zur Vermessung eines Objektes (30) mittels eines interferometrischen Messverfahrens, wobei die Messvorrichtung optische Elemente (10, 12a, 12b, 13a, 13b, 16, 16a, 16b) aufweist, und die optischen Elemente (10, 12a, 12b, 13a, 13b, 16, 16a, 16b) so angeordnet sind, dass ein zusammenhängendes Segment des Objektes (30) mit mindestens drei unabhängigen Messstrahlen (21, 22, 23) mit jeweils gleicher optischen Weglänge optisch vermessen werden kann, wobei die gleiche optische Weglänge ab einem Referenzpunkt gegeben ist, ab dem die mindestens drei unabhängigen Messstrahlen (21, 22, 23) zeitlich oder örtlich trennbar sind. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Messvorrichtung, die einen solchen Messkopf umfasst und ein zugehöriges Verfahren zur Vermessung eines Objektes mittels eines interferometrischen Messverfahrens.