Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, insbesondere eines Mikrospiegels, Ansteuersystem, Mikrospiegelsystem und Verfahren zum Ansteuern eines mikromechanischen Aktors

Es wird ein Regler zur Ansteuerung eines mikromechanischen Aktors, insbesondere eines Mikrospiegels, vorgeschlagen mit einem Sollwerteingang zum Empfangen eines Sollwertsignals, mit einem Istwerteingang zum Empfangen eines Istwertsignals, mit einem Sollwertfilter, welches dazu ausgebildet ist, eine erste vorgegebene Frequenz oder ein erstes vorgegebenes Frequenzband in dem empfangen Sollwertsignal zu dämpfen, um ein gefiltertes Sollwertsignal bereitzustellen, mit einem Differenzierer, welcher dazu ausgebildet ist, eine zeitliche Ableitung des empfangenen Istwertsignals bereitzustellen, mit einem Reglerkern, welcher dazu ausgebildet ist, anhand einer Regelabweichung zwischen dem gefilterten Sollwertsignal und dem Istwertsignal ein Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen, mit einem Phasendrehelement, welches dazu ausgebildet ist, die Phase der Differenz von Stellgrößensignal und der Ableitung des Istwertsignals für eine zweite Frequenz oder in einem vorgegebenen zweiten Frequenzband zu modifizieren, um ein modifiziertes Stellgrößensignal bereitzustellen, und mit einem ersten Stellgrößenfilter, welches dazu ausgebildet ist, eine vorgegebene dritte Frequenz in dem Stellgrößensignal zu unterdrücken, um ein gefiltertes Stellgrößensignal für den mikromechanischen Aktor bereitzustellen. A controller for controlling a micromechanical actuator having a setpoint input for receiving a setpoint signal, an actual-value input for receiving an actual-value signal, a setpoint filter to attenuate a first predefined frequency or a first predefined frequency band in the received setpoint signal to generate a filtered setpoint signal, a differentiator to generate a time derivative of the received actual-value signal; a controller core to generate a manipulated variable signal based on a system deviation between the filtered setpoint signal and the actual-value signal; a phase rotation element to modify the phase of the difference between the manipulated variable signal and the derivative of the actual-value signal for a second frequency or in a predefined second frequency band to generate a modified manipulated variable signal; and a first manipulated variable filter to suppress a predefined third frequency in the modified manipulated variable signal.