Mikrospiegelvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelvorrichtung (1) aufweisend: einen Rahmen (4), welcher auf einer Seite offen ausgebildet ist, wenigstens einen Mikrospiegel (7), welcher an dem Rahmen (4) um eine Drehachse (8) auslenkbar aufgehängt ist, und wenigstens ein Testlichtquellensystem (2), welches we...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Schatz, Frank, Finn, Andreas, Schlöder, Ulrike, Balslink, Thorsten
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TRANSPORTING
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