Mikrospiegelvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelvorrichtung (1) aufweisend: einen Rahmen (4), welcher auf einer Seite offen ausgebildet ist, wenigstens einen Mikrospiegel (7), welcher an dem Rahmen (4) um eine Drehachse (8) auslenkbar aufgehängt ist, und wenigstens ein Testlichtquellensystem (2), welches we...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schatz, Frank, Finn, Andreas, Schlöder, Ulrike, Balslink, Thorsten
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelvorrichtung (1) aufweisend: einen Rahmen (4), welcher auf einer Seite offen ausgebildet ist, wenigstens einen Mikrospiegel (7), welcher an dem Rahmen (4) um eine Drehachse (8) auslenkbar aufgehängt ist, und wenigstens ein Testlichtquellensystem (2), welches wenigstens eine Testlichtquelle (3) und wenigstens zwei Detektoren (11; 12) aufweist, zum Detektieren eines Teststrahls (10) der Testlichtquelle (3) abhängig von einem Auslenkwinkel des Mikrospiegels (7).