Messvorrichtung optischer Eigenschaften und optisches System

Messvorrichtung optischer Eigenschaften (100A; 100B; 100C; 100D; 100E; 100F), die aufweist:ein erstes optisches Element (12; 13; 14), das eingerichtet ist, um Messlicht (2) von einem Messzielobjekt (SMP) in paralleles Licht (4) umzuwandeln;eine reflektierende Linse (20), die eingerichtet ist, um das...

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Hauptverfasser: Hiroyuki, Sano, Okamoto, Sota
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Messvorrichtung optischer Eigenschaften (100A; 100B; 100C; 100D; 100E; 100F), die aufweist:ein erstes optisches Element (12; 13; 14), das eingerichtet ist, um Messlicht (2) von einem Messzielobjekt (SMP) in paralleles Licht (4) umzuwandeln;eine reflektierende Linse (20), die eingerichtet ist, um das parallele Licht (4) von dem ersten optischen Element (12; 13; 14) zu reflektieren, um das parallele Licht (4) in konvergierendes Licht (6) umzuwandeln;einen Lichtempfangsabschnitt (60), der eingerichtet ist, um das konvergierende Licht (6) von der reflektierenden Linse (20) zu empfangen; undeinen Antriebsmechanismus (54), der eingerichtet ist, um eine Position des ersten optischen Elements (12; 13; 14) relativ zum Messzielobjekt (SMP) zu variieren, dadurch gekennzeichnet, dass die Messvorrichtung optischer Eigenschaften ferner aufweist:eine erste Lichtquelle (30, 32), die eingerichtet ist, um Messlicht (2) zur Bestrahlung des Messzielobjekts (SMP) zu erzeugen; undeinen Strahlteiler (22), der auf einem optischen Weg von der reflektierenden Linse (20) zum Lichtempfangsabschnitt (60) angeordnet ist und mit der ersten Lichtquelle (30, 32) optisch verbunden ist. An optical characteristic measurement apparatus which can be reduced in size and can achieve enhanced versatility is provided. The optical characteristic measurement apparatus includes a first optical element which converts measurement light from a measurement target object to parallel light, a reflective lens which reflects the parallel light from the first optical element to convert the parallel light to convergent light, a light reception portion which receives the convergent light from the reflective lens, and a drive mechanism which varies a position of the first optical element relative to the measurement target object.