Testsystem und Verfahren zur automatischen Aufrechterhaltung einer Ausrichtung zwischen einer Sonde und einem zu testenden Bauelement während einer Temperaturänderung

Verfahren zur Aufrechterhaltung einer Ausrichtung zwischen einer Sonde (162), welche einen Teil der Sondenkopfanordnung (150) bildet, und einem zu testenden Bauelement (140), welches auf einer Oberfläche eines Substrats vorliegt, während einer thermischen Modulierung des zu testenden Bauelements (140), umfassend:- Erfassen eines Ausgangsbildes einer planaren Offset-Passermarke;- Bestimmen einer Ausgangshöhenreferenz einer Höhenoffset-Passermarke;- Ändern einer Temperatur des zu testenden Bauelements (140) von einer ersten Temperatur des zu testenden Bauelements zu einer zweiten Temperatur des zu testenden Bauelements;- im Anschluss an das Erfassen und während des Änderns eine Aufrechterhaltung einer planaren Position zwischen der Sonde (162) und dem zu testenden Bauelement (140) durch automatisches und wiederholtes:(i) Erfassen eines nachfolgenden Bildes der planaren Offset-Passermarke;(ii) Vergleich des Ausgangsbildes und des nachfolgenden Bildes, um ein planares Offset der planaren Offset-Passermarke zu bestimmen, wobei das planare Offset innerhalb einer Substratebene (300) definiert ist, die parallel zur Oberfläche (132) des Substrats (130) liegt; und(iii) Einstellen einer planaren Position von mindestens einem von Beiden, Sonde (162) und zu testendem Bauelement (140), um die planare Ausrichtung aufrechtzuerhalten, wobei das Einstellen zumindest teilweise auf dem planaren Offset basiert; und- im Anschluss an die Bestimmung und während des Änderns, eine Aufrechterhaltung einer Höhenposition zwischen der Sonde (162) und dem zu testenden Bauelement (140) durch automatisches und wiederholtes:(i) Erfassen einer nachfolgenden Höhenreferenz der Höhenoffset-Passermarke;(ii) Vergleich der Ausgangshöhenreferenz und der nachfolgenden Höhenreferenz um ein Höhenoffset der Höhenoffset-Passermarke zu bestimmen, wobei das Höhenoffset entlang einer Kontaktierungsachse (200) definiert ist, die senkrecht zur Oberfläche (132) des Substrats (130) verläuft; und(iii) Einstellen einer Höhenposition von mindestens einer der beiden, der Sonde (162) und des zu testenden Bauelements (140), um die Höhenausrichtung aufrechtzuerhalten, wobei das Einstellen zumindest teilweise auf dem Höhenoffset basiert.