Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Gleichförmigkeit eines Gasflusses in einem CVD- oder ALD-Reaktor oder einer darin abgeschiedenen Schicht

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Ermittlung der Lage eines Suszeptors (3) in einem Reaktorgehäuse (1), mit einem an einer vorbestimmten Stelle am Suszeptor (3) befestigbaren Zentralelement (26) und mit einer Mehrzahl von vom Zentralelement (26) bis über einen äußeren Rand (4) des Suszeptors (3) abragenden Tastarmen (29), die jeweils einen Tastabschnitt (30) aufweisen, der in eine berührende Anlage gegen eine Kontaktzone bringbar ist, wobei die Kontaktzone von einem inneren Rand (2) des Reaktorgehäuses (1) oder einem im Reaktorgehäuse (1) angeordneten Bauteil ausgebildet ist. Mit der Messvorrichtung lässt sich die Lage eines Suszeptors (3) eines CVD-Reaktors in Bezug auf das Reaktorgehäuse (1) oder ein in dem Reaktorgehäuse (1) angeordneten Bauteil (21) ermitteln, wobei die vom Zentralelement (26) abragenden Tastarme (29) mit den Kontaktzonen in Kontakt gebracht werden. A measuring device is provided for determining the position of a susceptor in a reactor housing. The measuring device includes a central element, which can be fastened on the susceptor at a predefined location, and a plurality of sensing arms, which protrude from the central element beyond an outer periphery of the susceptor. The sensing arms respectively include a sensing section that can be brought in touching contact with a contact zone. The contact zone is formed by an inner periphery of the reactor housing or a component arranged in the reactor housing. Using the measuring device, the position of a susceptor of a CVD reactor is determined relative to the reactor housing or a component arranged in the reactor housing.