Sensorelement zur Bestimmung des Feuchtegehalts eines gasförmigen Mediums

Die Erfindung umfasst ein Sensorelement (1) zur Bestimmung des Feuchtegehalts eines gasförmigen Mediums, umfassend: - ein Substrat (110), welches eine Aussparung (111) aufweist; - eine Membran (120), welche auf dem Substrat (110) angebracht ist und in der Aussparung (111) des Substrats angeordnet is...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Bürgler, Thomas, Krogmann, Florian, Barb, Yannick
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung umfasst ein Sensorelement (1) zur Bestimmung des Feuchtegehalts eines gasförmigen Mediums, umfassend: - ein Substrat (110), welches eine Aussparung (111) aufweist; - eine Membran (120), welche auf dem Substrat (110) angebracht ist und in der Aussparung (111) des Substrats angeordnet ist, wobei die Membran (120) im Wesentlichen aus einem feuchteempfindlichen Polymer mit einer von dem Feuchtegehalt des Mediums abhängigen Dielektrizitätskonstante und/oder elektrischen Leitfähigkeit besteht; und - eine auf der Membran (120) aufgebrachte Elektrodenanordnung (130) zur Messung eines Kapazitätswerts und/oder der elektrischen Leitfähigkeit der Membran (130).