Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Lage einer optischen Grenzfläche entlang einer ersten Richtung

Es wird ein Verfahren zum Bestimmen der Lage einer optischen Grenzfläche entlang einer ersten Richtung bereitgestellt, bei dem folgende Schritte durchgeführt werden: a) Abbilden eines Musters in eine Ebene quer zur ersten Richtung, wobei das Muster in der Ebene in einer zweiten Richtung periodisch variiert, und Aufnehmen eines zweidimensionalen Bildes des in der Ebene abgebildeten Musters, b) Wiederholen des Schrittes a) für verschiedene Positionen in der ersten Richtung, wobei die verschiedenen Positionen einen Bereich in der ersten Richtung abdecken, in dem die optische Grenzfläche liegt, c) Mitteln jedes Bildes von Schritt a) entlang einer Richtung quer zur zweiten Richtung derart, dass jeweils ein eindimensionaler Datensatz erzeugt wird, d) Transformieren jedes Datensatzes von Schritt c) in einen Frequenzraum, e) Ermitteln der Frequenz der größten Amplitude von allen im Schritt d) transformierten Datensätzen, f) Ermitteln der Position entlang der ersten Richtung durch Auswertung der in Schritt d) transformierten Datensätze an der im Schritt e) ermittelten Frequenz. A method for determining the position of an optical boundary surface along a first direction includes a) imaging a pattern in a plane transverse to the first direction, and recording a two-dimensional image of the pattern imaged in the plane; b) repeating step a) for different positions in the first direction, wherein the different positions cover an area in the first direction in which the optical boundary surface lies; c) averaging each image from step a) along a direction transverse to the second direction such that in each case a one-dimensional data set is produced; d) transforming each data set from step c) into a frequency domain; e) determining the frequency of the greatest amplitude of all data sets transformed in step d); and f) determining the position along the first direction by evaluating the data sets transformed in step d) at the frequency determined in step e).