Mikrofiltrationsvorrichtung

Eine Mikrofiltrationsvorrichtung (100) umfasst ein Substrat mit einer ersten Oberfläche und einer der ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst einen Hohlraum (120) zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst ferner einen Mikrof...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Denifl, Günter, Da Silva, Sylvicley Figueira, Berger, Jan, Rajaraman, Vijaye Kumar, Ostermann, Thomas, Holweg, Gerald, Stranzl, Gudrun, Arnanthigo, Yonsuang, Moder, Iris, Oswatitsch, Alexander
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS SEPARATION TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Mikrofiltrationsvorrichtung (100) umfasst ein Substrat mit einer ersten Oberfläche und einer der ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst einen Hohlraum (120) zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche. Das Substrat umfasst ferner einen Mikrofilter (130), der einen Rahmenteil (140) in Kontakt mit dem Substrat und einen an den Hohlraum (120) angrenzenden Filterteil (150) umfasst. Der Mikrofilter (130) weist in sowohl dem Rahmenteil (140) als auch dem Filterteil (150) ein halbleitendes oder leitendes Material auf. A microfiltration device comprises a substrate having a first surface and a second surface opposite to the first surface. The substrate includes a cavity between the first surface and the second surface. The substrate further includes a microfilter including a frame part in contact with the substrate and a filter part abutting the cavity. The microfilter comprises in both the frame part and the filter part a semiconducting or conducting material.