Suszeptoranordnung für einen Reaktor und Verfahren zum Erwärmen eines Prozessgases für einen Reaktor
Eine Suszeptoranordnung für einen Reaktor schließt ein Heizelement ein, das dazu konfiguriert ist, ein in dem Reaktor zu verwendendes Prozessgas zu erwärmen. Ebenfalls enthalten ist ein innerer Suszeptorabschnitt, welcher vom Heizelement radial nach innen angeordnet und dazu konfiguriert ist, darin...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Eine Suszeptoranordnung für einen Reaktor schließt ein Heizelement ein, das dazu konfiguriert ist, ein in dem Reaktor zu verwendendes Prozessgas zu erwärmen. Ebenfalls enthalten ist ein innerer Suszeptorabschnitt, welcher vom Heizelement radial nach innen angeordnet und dazu konfiguriert ist, darin befindliches Prozessgas entlang einem radial inneren Prozessgasweg zu leiten. Des Weiteren ist ein äußerer Suszeptorabschnitt enthalten, welcher vom Heizelement radial nach außen angeordnet und dazu konfiguriert ist, darin befindliches Prozessgas entlang einem radial äußeren Prozessgasweg zu leiten, wobei der radial innere Prozessgasweg und der radial äußere Prozessgasweg miteinander in Fluidverbindung stehen und im Wesentlichen von dem Heizelement fluidisch getrennt sind.
A susceptor arrangement for a reactor includes a heater element configured to heat a process gas to be used in the reactor. Also included is an inner susceptor portion located radially inwardly of the heater element and configured to route the process gas therein along a radially inner process gas path. Further included is an outer susceptor portion located radially outwardly of the heater element and configured to route the process gas therein along a radially outer process gas path, wherein the radially inner process gas path and the radially outer process gas path are fluidly coupled and substantially fluidly isolated from the heater element. |
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