Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mittels Laserstrukturierung

Um einfach genaue Sensorelemente herzustellen, schafft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements (10) für einen Druck- oder Kraftsensor, umfassend die Schritte: a) Bereitstellen eines zu verformenden Bauteils (13), c) Aufbringen einer Sensorfunktions- und Kontaktschicht (24) aus einem Material mit einem k-Faktor zwischen 2 und 10 auf das Bauteil (13), d) Flächenhaftes Abtragen des Materials der Sensorfunktions- und Kontaktschicht (24) mittels eines Lasers derart, dass Dehnungsmessstreifen (44) mit einer mäanderförmigen Widerstandstruktur und Kontaktpads (46.1, 46.2, 46.3, 46.4) stehenbleiben, wobei zum Abtragen des Materials Laserpulse aus der Gruppe von Laserpulsen verwendet werden, die * Laserpulse im sub-ps-Bereich, * Laserpulse aus einer breitbandigen Laserquelle (28) mit einer Wellenlängenbandbreite von 10nm bis 70nm * Laserpulse aus einer breitbandigen Laserquelle (28) mit einer Grundwellenlänge und einer Wellenlängenbandbreite von wenigstens 1%, vorzugsweise wenigstens 2%, am meisten bevorzugt wenigstens 3% der Grundwellenlänge, * durch ein Pulskompressionsverfahren komprimierte Laserpulse und * durch eine Hohlkernfaser geleitete Laserpulse umfasst. In order to produce accurate sensor element in a simple way, the invention provides a method for producing a sensor element (10) for a pressure or force sensor. Steps include, providing a component (13) to be deformed. Applying to the component (13), a sensor function and contact layer (24) consisting of a material with a k-factor between 2 and 10. Performing planar ablation of the material of the sensor function and contact layer (24) by means of a laser, in such a manner that strain gauges (44) with a resistance structure with a meandering shape and contact pads (46.1, 46.2, 46.3, 46.4) remain standing.