Messvorrichtung zum Überwachen eines Bearbeitungsprozesses unter Verwendung von an unterschiedlichen Messpositionen erfassten Messinformationen

Messvorrichtung (12) zum Überwachen eines Bearbeitungsprozesses, die mit einer Bearbeitungsvorrichtung (14) zum Bearbeiten eines Werkstücks (W) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (56) verbunden oder verbindbar ist, wobei der hochenergetische Bearbeitungsstrahl (56) mit einer Bearbeitungsgeschwindigkeit in einer Bearbeitungsrichtung (BR) entlang eines vorbestimmten Hauptbearbeitungspfads (H) relativ zu dem Werkstück (W) bewegbar ist, und wobei die Messvorrichtung (12) umfasst:einen optischen Kohärenztomographen (16) mit einer Messstrahlquelle (26) zum Erzeugen eines optischen Messstrahls (28), undwenigstens eine bewegbare Messstrahlablenkeinrichtung (44), die dazu eingerichtet ist, den optischen Messstrahl (28) während des Bearbeitens im Wesentlichen in Richtung des Hauptbearbeitungspfads (H) wahlweise an eine erste Messposition (Pre) oder an eine zweite Messposition (In) oder an eine dritte Messposition (Post) auf dem Werkstück (W) zu verlagern,wobei die erste Messposition (Pre) in Bearbeitungsrichtung (BR) betrachtet vor einer vorgesehenen aktuellen Bearbeitungsposition (76) liegt, um mittels des optischen Messstrahls (28) einen zu bearbeitenden Bereich des Werkstücks (W) zu erfassen, wobei die zweite Messposition (In) im Bereich der vorgesehenen aktuellen Bearbeitungsposition (76) liegt, um mittels des optischen Messstrahls (28) einen unter Bearbeitung stehenden Bereich des Werkstücks (W) zu erfassen, und wobei die dritte Messposition (Post) in Bearbeitungsrichtung (BR) betrachtet hinter der vorgesehenen aktuellen Bearbeitungsposition (76) liegt, um mittels des optischen Messstrahls (28) einen bearbeiteten Bereich des Werkstücks (W) zu erfassen,dadurch gekennzeichnet, dassdie Messvorrichtung (12) eine Auswerteeinrichtung umfasst, die mittels des optischen Messstrahls (28) Messinformationen an der oder einer weiteren ersten Messposition (Pre) und/oder Messinformationen an der oder einer weiteren zweiten Messposition (In) und/oder Messinformationen an der oder einer weiteren dritten Messposition (Post) nach Maßgabe von an der ersten und/oder zweiten und/oder dritten Messposition (Pre, In, Post) mittels des optischen Messstrahls (28) erfassten Messinformationen erfasst und/oder auswertet, und der optische Messstrahl (28) mittels der wenigstens einen bewegbaren Messstrahlablenkeinrichtung (44) oder mittels einer weiteren bewegbaren Messstrahlablenkeinrichtung an der ersten, zweiten und/oder dritten Messposition (Pre, In, Post) auf eine Vielz