Gettervorrichtung für ein mikromechanisches Bauelement

Gettervorrichtung (30) für ein mikromechanisches Bauelement (100), aufweisend: - eine metallische Getterstruktur, die in einer Kaverne des mikromechanischen Bauelements (100) angeordnet ist; - wobei die Getterstruktur mittels eines definierten elektrischen Stroms aufheizbar ist, wobei Material der G...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Geckeler, Carsten, Guenther, Sebastian, Schittenhelm, Nicole
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NAVIGATION PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SURVEYING TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gettervorrichtung (30) für ein mikromechanisches Bauelement (100), aufweisend: - eine metallische Getterstruktur, die in einer Kaverne des mikromechanischen Bauelements (100) angeordnet ist; - wobei die Getterstruktur mittels eines definierten elektrischen Stroms aufheizbar ist, wobei Material der Getterstruktur definiert verdampfbar ist. A getter device for a micromechanical component, having a metallic getter structure that is situated in a cavity of the micromechanical component. The getter structure is heatable using a defined electric current. It is possible to evaporate the material of the getter structure in a defined manner.