Vorrichtung zur Modifizierung von Oberflächen von Folien

Vorrichtung zur Modifizierung von Oberflächen von Folien mit einer elektrischen Hochfrequenzspannungsquelle (1), die an mindestens eine erste Elektrode (4) über eine elektrische Leistungseinkopplung (3) angeschlossen ist, und die erste Elektrode (4) parallel zu einer Rotationsachse einer Walze (6) in einem Abstand zu deren äußerer Mantelfläche angeordnet ist und die Walze aus einem elektrisch leitenden Werkstoff gebildet ist und über einen Bereich der äußeren Oberfläche der Walze (6) eine Folie (8) und dabei durch einen Bereich, der zwischen der ersten Elektrode (4) und einem Oberflächenbereich der äußeren Mantelfläche der Walze (6) in dem mittels der elektrischen Hochfrequenzspannung ein Plasma generierbar ist, geführt; und die erste Elektrode (4) in zur äußeren Mantelfläche der Walze (6) entgegengesetzter Richtung und an den zwei benachbarten Seiten und den Stirnseiten dazu mit einer Abschirmung (5) aus elektrisch leitendem Werkstoff umgeben ist, dadurch gekennzeichnet, dass mit der ersten Elektrode (4) und mindestens einer weiteren Elektrode (9, 12, 13) eine kontaktfreie, kapazitive elektrische Ankopplung gebildet ist und dabei die mindestens eine weitere Elektrode (9, 12, 13) elektrisch leitend mit der elektrischen Leistungseinkopplung (3) so verbunden ist, dass der elektrische Strom in entgegengesetzter Richtung in Bezug zum elektrischen Strom, der von der elektrischen Hochfrequenzspannungsquelle (1) zur ersten Elektrode (4) fließt, und an Erdpotential angeschlossen ist, sowie die mindestens eine weitere Elektrode (9, 12, 13) in einem Abstand zur äußeren Mantelfläche der Walze (6) und der dort umlaufenden Folie (8) angeordnet ist; und eine weitere Elektrode (9) mindestens ein scheibenförmiger Kreisring oder ist, ein in Richtung der äußeren Mantelfläche der Walze (6) konkav gekrümmtes Element, das in einem Abstand zur äußeren Mantelfläche der Walze (6) in einem Bereich angeordnet ist, in dem keine Folie (8) um die Walzenoberfläche geführt ist, und/oder ein in Richtung der äußeren Mantelfläche der Walze (6) konkav gekrümmtes Element, das in einem Abstand zur äußeren Mantelfläche der Walze (6) in einem Bereich angeordnet ist, der sich unmittelbar an die Abschirmung (5) anschließt oder mit der Abschirmung (5) verbunden ist.