Herstellungsverfahren zum Herstellen eines elektromechanischen Aktors und elektromechanischer Aktor

Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren zum Herstellen eines elektromechanischen Aktors (10), bei dem ein als Stapel (14) aus Werkstoffschichten (16) und Elektrodenschichten (18) ausgebildetes elektrisches Bauelement (12) bereitgestellt wird und auf dessen Umfangsbereich (20) eine Isolationsschicht (30) aufgebracht wird, wobei eine Elektrodenschicht (18) in dem Bauelement (12) durch Abtrag eines Isolationsschichtbereiches (44) freigelegt wird, wobei eine erste Abtragungsrate (RI) für das Isolationsschichtmaterial (52) deutlich größer gewählt wird als eine zweite Abtragungsrate (RW) für das Werkstoffschichtmaterial (54), und wobei die zweite Abtragungsrate (RW) für das Werkstoffschichtmaterial (54) deutlich größer gewählt wird als eine dritte Abtragungsrate (RE) für das Elektrodenschichtmaterial (56). Weiter betrifft die Erfindung einen elektromechanischen Aktor (10), der insbesondere mit einem solchen Herstellungsverfahren hergestellt worden ist. The invention relates to a production method for producing an electromechanical actuator (10), in which an electrical component (12) is provided, formed as a stack (14) of material layers (16) and electrode layers (18), and on the peripheral region (20) of which an insulation layer (30) is applied, wherein one electrode layer (18) in the component (12) is exposed by removing an insulation layer region (44), wherein a first removal rate (RI) for the insulation layer material (52) is selected to be significantly greater than a second removal rate (RW) for the material of the material layer (54), and wherein the second removal rate (RW) for the material of the material layer (54) is selected to be significantly greater than a third removal rate (RE) for the electrode layer material (56). The invention also relates to an electromechanical actuator (10) produced in particular using a production method of this type.