Strukturierte Halbleiterscheibe und Verfahren zu deren Herstellung

Strukturierte Halbleiterscheibe, umfassendeine Basisschicht (7) aus Halbleitermaterial, die sich von einem Zentrum bis zu einem Rand der Halbleiterscheibe erstreckt;auf der Basisschicht (7) Inselstrukturen (8), die durch Gräben (3) voneinander getrennt sind, wobei jede der Inselstrukturen (8)a) eine...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Murphy, Brian, Wahlich, Reinhold
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Strukturierte Halbleiterscheibe, umfassendeine Basisschicht (7) aus Halbleitermaterial, die sich von einem Zentrum bis zu einem Rand der Halbleiterscheibe erstreckt;auf der Basisschicht (7) Inselstrukturen (8), die durch Gräben (3) voneinander getrennt sind, wobei jede der Inselstrukturen (8)a) eine Abscheidefläche (10) aufweist, die von einer oder mehreren Schichten (9) bedeckt ist, wobei die eine oder mehreren Schichten (9) ein Gruppe(III)nitrid enthalten;b) eine Zwischenschicht (5) des Halbleitermaterials umfasst, in der Hohlräume (4) eingebettet sind; undc) eine obere Schicht (6) des Halbleitermaterials umfasst, die die Zwischenschicht (5) und die Hohlräume (4) bedeckt, wobei eine Kontaktfläche, die die obere Schicht (6) zur Zwischenschicht (5) hat, wegen des Vorhandenseins der Hohlräume (4) nicht mehr als 1 % der Abscheidefläche (10) beträgt.