Strukturierte Halbleiterscheibe und Verfahren zu deren Herstellung

Die strukturierte Halbleiterscheibe umfasst eine Basisschicht aus Halbleitermaterial, die sich von einem Zentrum bis zu einem Rand der Halbleiterscheibe erstreckt; auf der Basisschicht eine Zwischenschicht des Halbleitermaterials, in der Hohlräume eingebettet sind; eine obere Schicht des Halbleitermaterials, die die Zwischenschicht bedeckt; Gräben in der oberen Schicht und der Zwischenschicht und Inselstrukturen zwischen den Gräben; und eine oder mehrere Schichten, die eine Abscheidefläche der jeweiligen Inselstruktur bedecken und ein Gruppe(III)nitrid enthalten.