Anordnung und Verfahren zur Positionsbestimmung von zwei Objekten in sechs Freiheitsgraden zueinander

Die Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Positionsbestimmung von zwei Objekten in sechs Freiheitsgraden zueinander. Eine erfindungsgemäße Anordnung weist ein erstes Objekt, ein zweites Objekt, wenigstens sechs absolut messende Interferometer (441-446, 541-548) und wenigstens drei...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hof, Albrecht
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOTDIRECTED TO A PARTICULAR RESULT DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g.ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MACHINE TOOLS MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OFPARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS MATERIALS THEREFOR MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur Positionsbestimmung von zwei Objekten in sechs Freiheitsgraden zueinander. Eine erfindungsgemäße Anordnung weist ein erstes Objekt, ein zweites Objekt, wenigstens sechs absolut messende Interferometer (441-446, 541-548) und wenigstens drei Retroreflektoren (451-456, 551-554) auf, wobei diese Retroreflektoren 451-456, 551-554) derart an dem ersten Objekt oder dem zweiten Objekt angeordnet sind, dass zwischen den Retroreflektoren und den absolut messenden Interferometern insgesamt wenigstens sechs unterschiedliche Längenmessstrecken (431-436, 531-538) ausgebildet sind.