Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung

Mikromechanische Vorrichtung (10) mit:einer Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i; 124) der Federeinrichtung (16) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14) ankoppelbar oder angekoppelt ist;wobei die Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516) mindestens einen Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i; 124) ausgehend erstreckt; undwobei der mindestens eine Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i; 220-i) sowie mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (22-i; 222-i; 522) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i; 220-i) verbreitert ist,wobei der mindestens eine Verbreiterungsabschnitt (22-i; 222-i; 522) zumindest zum Teil durch eine Masseeinrichtung (26-i; 526) gebildet ist, welche an dem Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) als Teil der Federeinrichtung (16; 216; 316; 516) ausgebildet ist,wobei die Masseeinrichtung (26-i; 526) die Steifigkeit der Federeinrichtung (16; 516) unverändert lässt,wobei die Federeinrichtung (16; 216; 316; 416) mindestens zwei Stege (18-i; 218-i; 318-i) jeweils mit dem ersten und dem mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (20-i; 220-i, 22-i; 222-i) aufweist, wobei die mindestens zwei Stege (18-i; 218-i; 318-i) zueinander symmetrisch bezüglich einer Symmetrieachse (S1) ausgebildet sind. A micromechanical device and a corresponding manufacturing method. The micromechanical device includes: a spring element which is moveably coupleable or is moveably coupled to a frame unit at at least one connecting point of the spring element, the spring element including at least one web, which extends outward from the at least one connecting point; and the at least one web being structured in such a way that it includes at least one first section as well as at least one widening section for reducing a non-linearity of the spring element, which is widened compared to the first section.