Beschichtungsanordnung, Substratträger und Verfahren

Beschichtungsanordnung (100a, 100b, 900), aufweisend:* eine Beschichtungskammer (102), in welcher ein Beschichtungsbereich (104) bereitgestellt ist;* eine Beschichtungsmaterialquelle (106) zum Beschichten eines Substrats (410) in dem Beschichtungsbereich (104) mit einem Beschichtungsmaterial,* eine Auffangstruktur (108, 108a, 108b) zum Auffangen von Beschichtungsmaterial, welche einen Abschirmbereich (110) gegenüber der Beschichtungsmaterialquelle (106) abschirmt, welcher an den Beschichtungsbereich (104) angrenzt und einen Abstand (110d) von der Beschichtungsmaterialquelle (106) aufweist;* wobei eine Ausdehnung (110q) des Abschirmbereichs (110) entlang einer Querrichtung (103), welche quer zu dem Abstand (110d) und quer zu einer Transportrichtung (101) ist, größer ist als der Abstand (110d); und* eine in der Beschichtungskammer (102) angeordnete Transportvorrichtung (114, 1204), mittels welcher die Auffangstruktur (108, 108a, 108b) entlang einer Transportrichtung (101) transportierbar ist in die Beschichtungskammer (102) hinein und/oder aus der Beschichtungskammer (102) heraus;* wobei die Beschichtungsmaterialquelle (106) einen Quellbereich aufweist, aus welchem diese das Beschichtungsmaterial emittiert, wobei der Quellbereich eine Ausdehnung (606q) entlang der Querrichtung (103) aufweist, welche um einen Überstand (602q) größer ist als eine dazu parallele Ausdehnung (104q) des Beschichtungsbereichs (104);* wobei der Überstand (602q) größer ist als der Abstand (110d). According to different embodiments, a coating assembly (100a, 100b, 900) can comprise the following: a coating chamber (102), in which a coating region (104) is provided; a coating material source (106) for coating a substrate (410) in the coating region (104) with a coating material; a collection structure (108, 108a, 108b) for collecting coating material, which shields a shielding region (100) from the coating material source (106), which is adjacent to the coating region (104) and is at a distance (110d) from the coating material source (106), wherein an extension (110q) of the shielding region (110) is greater than the distance (110d); and a transport device (114, 1204) arranged in the coating chamber (102), by means of which the collection structure (108, 108a, 108b) can be transported into the coating chamber (102) and/or out of the coating chamber (102).