Kammeranordnung, Servicevorrichtung, Serviceanordnung und Verfahren

Kammeranordnung (100a), aufweisend:* ein Kammergehäuse (802), welches mehrere Prozessierbereiche (803a, 803b) aufweist, von denen jeder Prozessierbereich eine Übergabeposition (813a, 813b) definiert und von jeweils einer Öffnung in dem Kammergehäuse (802) freigelegt ist;* mehrere Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b), von denen jede Positionierung-Kammerstruktur genau einem Prozessierbereich der mehreren Prozessierbereiche (803a, 803b) zugeordnet ist und zum Positionieren einer dazu passenden Servicevorrichtung in dessen Übergabeposition (813a, 813b) eingerichtet ist;* wobei das Kammergehäuse (802) derart eingerichtet ist, dass, wenn die Servicevorrichtung (100b) mittels einer Positionierung-Kammerstruktur der mehreren Positionierung-Kammerstrukturen (833a, 833b) positioniert ist, eine Prozessiereinheit durch die jeweilige Öffnung hindurch zwischen dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich und der Servicevorrichtung (100b) bewegt werden kann von der Servicevorrichtung (100b) in den der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100a) hinein oder aus dem der Positionierung-Kammerstruktur zugeordneten Prozessierbereich der Kammeranordnung (100b) heraus auf die Servicevorrichtung (100b). According to different embodiments, a chamber arrangement (100a) can comprise the following: a chamber housing (802) having multiple processing areas (803a, 803b), each of which processing areas defines a transfer position (813a, 813b) and is exposed by a respective opening in the chamber housing (802); multiple positioning chamber structures (833a, 833b), each of which positioning chamber structure is assigned to exactly one processing area of the multiple processing areas (803a, 803b) and is configured for positioning a suitable service device (100b) in the transfer position (813a, 813b) thereof; wherein the chamber housing (802) is configured such that if the service device (100b) is positioned by means of a positioning chamber structure of the multiple positioning chamber structures (833a, 833b), a processing unit can be moved through the respective opening between a processing area assigned to the positioning chamber structure and the service device (100b).