Prozessieranordnung und Transportanordnung

Transportanordnung (102), aufweisend:* mehrere Transportrollen (102a, 102b) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportfläche (111f), von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen (102a, 102b) in einem Abstand voneinander angeordnet sind, so dass zwischen diesen ein Spa...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Leßmann, Steffen, Haeusler, Christoph, Haasemann, Georg, Zschieschang, Erwin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Transportanordnung (102), aufweisend:* mehrere Transportrollen (102a, 102b) zum Transportieren von Substraten entlang einer Transportfläche (111f), von denen zumindest zwei einander benachbarte Transportrollen (102a, 102b) in einem Abstand voneinander angeordnet sind, so dass zwischen diesen ein Spalt in der Transportanordnung (102) gebildet ist;* zumindest eine Gastrennstruktur (108), welche sich in dem Spalt erstreckt und quer zur Transportfläche (111f) von mehreren Öffnungen (108o) durchdrungen ist, von denen zwischen den zwei Transportrollen (102a, 102b) die Transportfläche (111f) zu einem Großteil freigelegt ist.