Temperiervorrichtung

Temperiervorrichtung (1, 1a, 1b, 1c, 1d, 1e) mit einem ersten Substrat (2) mit wenigstens einem mit einer elektrischen Kontaktierung (21) kontaktierten Thermoelement (22, 22') und einem zweiten Substrat (3, 3', 3") mit wenigstens einem zu temperierenden Bereich (31, 31'), wobei d...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Nestler, Jörg, Stiel, Cornelia, Haber, Nora
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING QUANTITY OF HEAT MEASURING TEMPERATURE MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS TESTING THEIR RELEVANT APPARATUS THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Temperiervorrichtung (1, 1a, 1b, 1c, 1d, 1e) mit einem ersten Substrat (2) mit wenigstens einem mit einer elektrischen Kontaktierung (21) kontaktierten Thermoelement (22, 22') und einem zweiten Substrat (3, 3', 3") mit wenigstens einem zu temperierenden Bereich (31, 31'), wobei das Thermoelement (22, 22', 22") relativ zu dem zweiten Substrat (3, 3', 3") beweglich ist,unddas Thermoelement (22, 22', 22") durch wenigstens eine in oder auf dem ersten Substrat (2) ausgebildete Federvorrichtung (24) gefedert aufgehangen und durch die Federvorrichtung (24) gegen den zu temperierenden Bereich (31, 31') gedrückt ist, dadurch gekennzeichnet,dass das zweite Substrat (3, 3', 3") eine Fluidikvorrichtung (32, 32', 32") aufweist, in der ein erster Fluidkanal (33) und ein zweiter, von dem ersten Fluidkanal (33) durch wenigstens eine in dem zweiten Substrat ausgebildete Wand (35, 35') getrennter Fluidkanal (34, 34') vorgesehen sind, wobei zwischen dem ersten Fluidkanal (33) und dem zweiten Fluidkanal (34, 34') ein thermosensitives Fluidventil (36, 36') zum Öffnen und/oder Schließen einer Fluidverbindung (37, 37', 37") zwischen dem ersten Fluidkanal (33) und dem zweiten Fluidkanal (34, 34') vorgesehen ist, wobei das Fluidventil (36, 36') dem zu temperierenden Bereich (31, 31') entspricht, gegen den das Thermoelement (22, 22', 22") gedrückt ist.