Messeinrichtung und Messverfahren zur Messung optischer Schichteigenschaften an transparenten Substraten

Der Erfindung, die eine Messeinrichtung zur Messung optischer Schichteigenschaften eines transparenten Substrates, umfassend eine Messfläche, an der das Substrat bei der Messung anliegt, einen auf einer Seite der Messfläche angeordneten Messkopf mit einem Empfangselement zur Erfassung einer auf eine...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Borchel, Ronny, Ließ, Udo, Pröhl, Holger
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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