Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung dehnungsabhängiger Größen

Es wird ein Verfahren zur Bestimmung mindestens einer dehnungsabhängigen Größe mindestens eines an einem scheibenförmigen Substrat (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) angeordneten Probenelements (50, 60) vorgestellt, bei dem einem Grundelement (2,12, 22, 32, 42) ein kontrolliertes Biegemoment aufgegeben wird, das Substrat (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) derart eine Substrataufnahmeseite des Grundelements (2,12, 22, 32, 42) mittelbar oder unmittelbar kontaktierend am Grundelement (2, 12, 22, 32, 42) gehalten wird, dass das Substrat (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) infolge der Biegebewegung des Grundelements (2, 12, 22, 32) eine Oberflächenkrümmung erfährt, und an dem mindestens einen Probenelement (50, 60) mindestens eine Messgröße gemessen wird. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, umfassend Biegemittel zum Erzeugen eines kontrollierten Biegemoments, kennzeichnet sich dadurch, dass die Biegemittel auf ein Grundelement (2, 12, 22, 32, 42) wirken und Mittel zum Halten eines scheibenförmigen Substrats (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) auf dem Grundelement (2, 12, 22, 32, 42) derart ausgebildet sind, dass das Substrat (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) infolge der Biegebewegung des Grundelements gekrümmt wird. The invention relates to a method for determining at least one extension-dependent variable of at least one sample element (50, 60) arranged on a disk-shaped substrate (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63). A controlled bending torque is applied to a base element (2, 12, 22, 32, 42), and the substrate (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) is held on the base element (2, 12, 22, 32, 42) so as to directly or indirectly contact a substrate receiving face of the base element (2, 12, 22, 32, 42) such that the surface of the substrate (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) is bent as a result of the bending movement of the base element (2, 12, 22, 32), wherein at least one measurement variable is measured on the at least one sample element (50, 60). The invention also relates to a device for carrying out the method, comprising bending means for generating a controlled bending torque, said device being characterized in that the bending means act on a base element (2, 12, 22, 32, 42) and means for holding a disk-shaped substrate (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) on the base element (2, 12, 22, 32, 42) are designed such that the substrate (3, 13, 23, 33, 43, 53, 63) is bent as a result of the bending movement of the base element.