Vakuumanordnung und Dichtstruktur

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100a, 500a, 800b, 900) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (100); einen Vakuumbereich, welcher sich zumindest teilweise im Inneren der Vakuumkammer (100) erstreckt; zwei zueinander beweglich gelagerte Elemente (110a, 110b), zwischen...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Stude, Gerit, Arnold, Gerd, Siegert, Sebastian
Format: Patent
Sprache:ger
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